等离子刻蚀机（关于等离子刻蚀机的基本详情介绍）
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2023-09-08 07:39:02
摘要 大家好我是小蝌蚪，等离子刻蚀机，关于等离子刻蚀机的基本详情介绍很多人还不知道，那么现在让我们一起来看看吧！1、等离子刻蚀机，又叫等...
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大家好我是小蝌蚪，等离子刻蚀机，关于等离子刻蚀机的基本详情介绍很多人还不知道，那么现在让我们一起来看看吧！
1、等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。
2、等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
3、某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。
4、进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。
5、工件送入被真空泵抽空的反应室。
6、气体被导入并与等离子体进行交换。
7、等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。
8、等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子体工艺。
9、近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction plasma）。
本文关于等离子刻蚀机的基本详情介绍就讲解完毕，希望对大家有所帮助。
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